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나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 도핑된 B11을 이용한 니켈-실리사이드의 열안정성 개선
나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 도핑된 B11을 이용한 니켈-실리사이드의 열안정성 개선
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 정순연
- 서명/저자
- 나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 도핑된 B11을 이용한 니켈-실리사이드의 열안정성 개선 / 정순연 , 오순영 , 이원재 , 장잉잉 , 종 준 , 이세광 , 김영철 , 이가원 , 왕진석 , 이희덕 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 1000-1004
- 기타저자
- 오순영
- 기타저자
- 이원재
- 기타저자
- 장잉잉
- 기타저자
- 종 준
- 기타저자
- 이세광
- 기타저자
- 김영철
- 기타저자
- 이가원
- 기타저자
- 왕진석
- 기타저자
- 이희덕
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60085701
MARC
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■URL ▼ahttp://www.kieeme.or.kr
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