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나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 도핑된 B11을 이용한 니켈-실리사이드의 열안정성 개선
나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 도핑된 B11을 이용한 니켈-실리사이드의 열안정성 개선
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 정순연
- Title/Author
- 나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 도핑된 B11을 이용한 니켈-실리사이드의 열안정성 개선 / 정순연 ; 오순영 ; 이원재 ; 장잉잉 ; 종 준 ; 이세광 ; 김영철 ; 이가원 ; 왕진석 ; 이희덕 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- Material Info
- pp. 1000-1004
- Added Entry-Personal Name
- 오순영
- Added Entry-Personal Name
- 이원재
- Added Entry-Personal Name
- 장잉잉
- Added Entry-Personal Name
- 종 준
- Added Entry-Personal Name
- 이세광
- Added Entry-Personal Name
- 김영철
- Added Entry-Personal Name
- 이가원
- Added Entry-Personal Name
- 왕진석
- Added Entry-Personal Name
- 이희덕
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제19권 제11호 (2006년 11월) 2006, 11
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60085701
MARC
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■URL ▼ahttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS035784▼b60055323▼h8▼s2
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