자료유형  

 기사

ISSN  

12267945

저자명  

권성구

서명/저자  

UV/O₂가스상 세정을 이용한 실리콘 웨이퍼상의 PEG 반응기구의 관찰 / 권성구 , 김도현 , 김기동 , 이승헌 공저

발행사항  

서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 985-993

키워드  

UVO₂가스상 세정 이용 실리콘 웨이퍼 상의 PEG 반응기 구의 관찰

기타저자  

김도현

기타저자  

김기동

기타저자  

이승헌

기본자료저록  

전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제19권 제11호 (2006년 11월) 2006, 11

URL  

http://www.kieeme.or.kr

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Control Number  

kjul:60085689