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 기사

ISSN  

12250562

저자명  

김상엽

서명/저자  

폴리실리콘 기판 위에 형성된 코발트 니켈 복합실리사이드 박막의 열처리 온도에 따른 물성과 미세구조변화 / 김상엽 , 송오성 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 564-570

키워드  

기판 형성 코발트 니켈 복합 박막 열처리 온도 물성 미세

기타저자  

송오성

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 9, (2006 September) 2006, 09

URL  

http://www.mrs-k.or.kr

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Control Number  

kjul:60085614