자료유형  

 기사

ISSN  

12256285

저자명  

류재명

서명/저자  

반도체 와이어 본딩 검사용 다중배치 현미경 광학계에 대한 공차분석 / 류재명 저. , 이해진 , 강건모 , 정진호 , 백승선 , 조재흥 공저.

발행사항  

서울 : 한국광학회, 2006.

형태사항  

pp. 149-158

키워드  

반도체 와이어 본딩 검사 다중 배치 현미경 광학계 대한 공차 분석

기타저자  

이해진

기타저자  

강건모

기타저자  

정진호

기타저자  

백승선

기타저자  

조재흥

기본자료저록  

한국광학회지=Hankook Kwanghak Hoeji : 제17권 제2호 2006, 04

URL  

http://www.osk.or.kr

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Control Number  

kjul:60085173