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레이저 간섭계를 이용한 마이크로 시스템의 미소변위 측정에 관한 연구
레이저 간섭계를 이용한 마이크로 시스템의 미소변위 측정에 관한 연구  / 최경현, 김창종, 조수...
레이저 간섭계를 이용한 마이크로 시스템의 미소변위 측정에 관한 연구

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
15986721
서명/저자  
레이저 간섭계를 이용한 마이크로 시스템의 미소변위 측정에 관한 연구 / 최경현, 김창종, 조수정 저.
발행사항  
서울 : 한국기계가공학회, 2006.
형태사항  
pp. 22-26
키워드  
레이저 간섭 이용 마이크로 시스템 미소 변위 측정
기타저자  
최경현
기타저자  
김창종
기타저자  
조수정
기본자료저록  
한국기계가공학회지=Journal of the korean society of Manufacturing Proc : Vol. 5 No. 2 (2006년 6월) 2006, 06
URL  
http://www.ksmpe.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60082778

MARC

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