자료유형  

 기사

ISSN  

15986721

서명/저자  

레이저 간섭계를 이용한 마이크로 시스템의 미소변위 측정에 관한 연구 / 최경현, 김창종, 조수정 저.

발행사항  

서울 : 한국기계가공학회, 2006.

형태사항  

pp. 22-26

키워드  

레이저 간섭 이용 마이크로 시스템 미소 변위 측정

기타저자  

최경현

기타저자  

김창종

기타저자  

조수정

기본자료저록  

한국기계가공학회지=Journal of the korean society of Manufacturing Proc : Vol. 5 No. 2 (2006년 6월) 2006, 06

URL  

http://www.ksmpe.or.kr

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Control Number  

kjul:60082778