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스퍼터링 및 전기도금법으로 증착된 Cu 박막의 두께에 따른 어닐링 집합조직
스퍼터링 및 전기도금법으로 증착된 Cu 박막의 두께에 따른 어닐링 집합조직
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 17388228
- 서명/저자
- 스퍼터링 및 전기도금법으로 증착된 Cu 박막의 두께에 따른 어닐링 집합조직 / 이상훈, 박노진 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 556-561
- 기타저자
- 이상훈
- 기타저자
- 박노진
- 기본자료저록
- 대한금속재료학회지=Journal of the Korean Institute of Metals and Mate : Vol.44 No.8 (2006년 8월) 2006, 08
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60080896
MARC
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