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RF 마그네트런 스퍼터링을 이용하여 증착한 GZO박막의 전기적, 광학적 특성
RF 마그네트런 스퍼터링을 이용하여 증착한 GZO박막의 전기적, 광학적 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 17388228
- 서명/저자
- RF 마그네트런 스퍼터링을 이용하여 증착한 GZO박막의 전기적, 광학적 특성 / 김숙주, 전지호, 이종무 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 649-652
- 기타저자
- 김숙주
- 기타저자
- 전지호
- 기타저자
- 이종무
- 기본자료저록
- 대한금속재료학회지=Journal of the Korean Institute of Metals and Mate : Vol.44 No.9 (2006년 9월) 2006, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60080886
MARC
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