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DC와 RF Magnetron Sputtering 공법을 이용한 다층 TiO₂/Al, Cr/TiO₂진주안료 개발
DC와 RF Magnetron Sputtering 공법을 이용한 다층 TiO₂/Al, Cr/TiO₂진주안료 개발
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- DC와 RF Magnetron Sputtering 공법을 이용한 다층 TiO₂/Al, Cr/TiO₂진주안료 개발 / 정재일, 이정훈, 장건익 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 764-768
- 키워드
- DC와 RF MAGNETRON SPUTTERING 공법 이용 다층 TIO₂AL CRTIO₂진주안료 개발
- 기타저자
- 정재일
- 기타저자
- 이정훈
- 기타저자
- 장건익
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60078326
MARC
008060914s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12267945
■245 ▼aDC와 RF Magnetron Sputtering 공법을 이용한 다층 TiO₂/Al, Cr/TiO₂진주안료 개발▼d정재일, 이정훈, 장건익 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2006.
■300 ▼app. 764-768
■653 ▼aDC와▼aRF▼aMAGNETRON▼aSPUTTERING▼a공법▼a이용▼a다층▼aTIO₂AL▼aCRTIO₂진주안료▼a개발
■700 ▼a정재일
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■7001 ▼a장건익
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제19권 제8호 (2006년 8월)▼d2006, 08
■URL ▼ahttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS028708▼b60055323▼h8▼s2
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