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LPCVD로 성장된 다결정 3C-SiC 박막의 물리적 특성
LPCVD로 성장된 다결정 3C-SiC 박막의 물리적 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- LPCVD로 성장된 다결정 3C-SiC 박막의 물리적 특성 / 정귀상, 김강산 공저.
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 732-736
- 기타저자
- 정귀상
- 기타저자
- 김강산
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60078303
MARC
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