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도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구
도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구
상세정보
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008060914s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12267945
■245 ▼a도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구▼d김정규, 견명옥, 서정두, 안준호, 김정곤, 구갑렬, 이원재, 김일수, 신병철 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2006.
■300 ▼app. 673-679
■653 ▼a도가니▼a구조▼a변경▼a통한▼a6HSIC▼a단결정▼a직경▼a확장
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제19권 제7호 (2006년 7월)▼d2006, 07
■URL ▼ahttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS027648▼b60055323▼h8▼s2


