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도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구
도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구 / 김정규, 견명옥, 서정두, 안...
도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12267945
서명/저자  
도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구 / 김정규, 견명옥, 서정두, 안준호, 김정곤, 구갑렬, 이원재, 김일수, 신병철 공저
발행사항  
서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
형태사항  
pp. 673-679
키워드  
도가니 구조 변경 통한 6HSIC 단결정 직경 확장
기타저자  
김정규
기타저자  
견명옥
기타저자  
서정두
기타저자  
안준호
기타저자  
김정곤
기타저자  
구갑렬
기타저자  
이원재
기타저자  
김일수
기타저자  
신병철
기본자료저록  
전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제19권 제7호 (2006년 7월) 2006, 07
URL  
http://kieeme.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60078293

MARC

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