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PECVD로 증착된 금속층을 포함하는 DLC박막의 기계적 특성 분석
PECVD로 증착된 금속층을 포함하는 DLC박막의 기계적 특성 분석
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- PECVD로 증착된 금속층을 포함하는 DLC박막의 기계적 특성 분석 / 전영숙, 최원석, 홍병유 공저.
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 631-635
- 기타저자
- 전영숙
- 기타저자
- 최원석
- 기타저자
- 홍병유
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60078274
MARC
008060914s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12267945
■245 ▼aPECVD로 증착된 금속층을 포함하는 DLC박막의 기계적 특성 분석▼d전영숙, 최원석, 홍병유 공저.
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제19권 제7호 (2006년 7월)▼d2006, 07
■URL ▼ahttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS027648▼b60055323▼h8▼s2
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