자료유형  

 기사

ISSN  

12267945

서명/저자  

저온공정 실리콘 산화막의 질소 패시베이션 효과 / 김준식, 정호균, 최병덕, 이기용, 이준신 공저.

발행사항  

서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 334-338

키워드  

저온공정 실리콘 산화 질소 효과

기타저자  

김준식

기타저자  

정호균

기타저자  

최병덕

기타저자  

이기용

기타저자  

이준신

기본자료저록  

전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제19권 제4호 (2006년 4월) 2006, 04

URL  

http://kieeme.or.kr

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Control Number  

kjul:60078210