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 기사

ISSN  

12267945

서명/저자  

연마불균일도에 영향을 미치는 패드 표면특성에 관한 연구 / 박기현, 박범영, 김형재, 정해도 공저.

발행사항  

서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 309-313

키워드  

연마 영향 표면

기타저자  

박기현

기타저자  

박범영

기타저자  

김형재

기타저자  

정해도

기본자료저록  

전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제19권 제4호 (2006년 4월) 2006, 04

URL  

http://kieeme.or.kr

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Control Number  

kjul:60078184