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DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교
DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교 / 박민우, 이종무 저.
DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
서명/저자  
DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교 / 박민우, 이종무 저.
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2006.
형태사항  
pp. 461-465
키워드  
DC RF 스퍼터링 CR 박막
기타저자  
박민우
기타저자  
이종무
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 8, (2006 August) 2006, 08
URL  
http://mrs-k.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60078030

MARC

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