자료유형  

 기사

ISSN  

12250562

서명/저자  

DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교 / 박민우, 이종무 저.

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 461-465

키워드  

DC RF 스퍼터링 CR 박막

기타저자  

박민우

기타저자  

이종무

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 8, (2006 August) 2006, 08

URL  

http://mrs-k.or.kr

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Control Number  

kjul:60078030