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rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향
rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향
상세정보
MARC
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■245 ▼arf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향▼d조용준, 박안나, 이종무 저.
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2006.
■300 ▼app. 445-448
■653 ▼aRF▼a스퍼터링▼a기판▼aZNO▼a박막▼a결정▼a성과▼aPHOTOLUMINESCENCE▼a특성▼a대한▼aZN▼a완충▼a두께
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 16, No. 7, (2006 July)▼d2006, 07
■URL ▼ahttp://mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS028753▼b60055267▼h8▼s2


