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rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향
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rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
서명/저자  
rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향 / 조용준, 박안나, 이종무 저.
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2006.
형태사항  
pp. 445-448
키워드  
RF 스퍼터링 기판 ZNO 박막 결정 성과 PHOTOLUMINESCENCE 특성 대한 ZN 완충 두께
기타저자  
조용준
기타저자  
박안나
기타저자  
이종무
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 7, (2006 July) 2006, 07
URL  
http://mrs-k.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60078027

MARC

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