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 기사

ISSN  

12250562

서명/저자  

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 SiO₂/Si(100)기판위에 성장시킨 ZnO 박막의 구조 및 광특성 / 한석규, 홍순구, 김효진, 이재욱, 이정용 저.

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 360-366

키워드  

RF 스퍼터링 방법 SIO₂SI100기판위에 성장 ZNO 박막 구조

기타저자  

한석규

기타저자  

홍순구

기타저자  

김효진

기타저자  

이재욱

기타저자  

이정용

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 6, (2006 June) 2006, 06

URL  

http://mrs-k.or.kr

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Control Number  

kjul:60077997