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PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가
PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가 / 차남구, 박창화, 조민수, 김규채,...
PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
저자명  
차남구
서명/저자  
PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가 / 차남구, 박창화, 조민수, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙 저.
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2006.
형태사항  
pp. 225-230
키워드  
PECVD 이용 금속 스탬프 점착 형성 평가
기타저자  
박창화
기타저자  
조민수
기타저자  
김규채
기타저자  
박진구
기타저자  
정준호
기타저자  
이응숙
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 4, (2006 April) 2006, 04
URL  
http://mrs-k.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60077953

MARC

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