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PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가
PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가
상세정보
MARC
008060912s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12250562
■1001 ▼a차남구
■245 ▼aPECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가▼d차남구, 박창화, 조민수, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙 저.
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2006.
■300 ▼app. 225-230
■653 ▼aPECVD▼a이용▼a금속▼a스탬프▼a점착▼a형성▼a평가
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 16, No. 4, (2006 April)▼d2006, 04
■URL ▼ahttp://mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS026568▼b60055267▼h8▼s2


