자료유형  

 기사

ISSN  

12250562

저자명  

오창권

서명/저자  

저에너지의 Ar중성빔을 이용한 Silicon의 Atomic Layer Etching / 오창권, 박상덕, 염근영 저.

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 213-217

키워드  

AR중성빔을 이용 SILICON의 ATOMIC LAYER ETCHING

기타저자  

박상덕

기타저자  

염근영

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 4, (2006 April) 2006, 04

URL  

http://mrs-k.or.kr

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Control Number  

kjul:60077951