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 기사

ISSN  

12250562

서명/저자  

Co₂(CO)8 (Dicobalt Octacarbony1)전구체를 이용한 MOCVD Co 박막의 균일한 증착 특성 및 높은 순도에 관한 연구 / 이정길, 이재갑 저.

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 106-110

키워드  

CO₂CO8 DICOBALT OCTACARBONY1전구체를 이용 MOCVD 박막 균일 순도

기타저자  

이정길

기타저자  

이재갑

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 2, (2006 February) 2006, 02

URL  

http://mrs-k.or.kr

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Control Number  

kjul:60077942