자료유형  

 기사

ISSN  

12250562

서명/저자  

오존과 초음파를 이용한 실리콘 웨이퍼의 Post Sliced Cleaning / 최은석, 배소익 저.

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 75-79

키워드  

오존 초음파 이용 실리콘 웨이퍼 POST SLICED CLEANING

기타저자  

최은석

기타저자  

배소익

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 16, No. 2, (2006 February) 2006, 02

URL  

http://mrs-k.or.kr

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Control Number  

kjul:60077934