MARC

 008060516s2005        ULKa    a                          ENG
■022    ▼a1738494X
■245    ▼aPrediction  of  Residual  Stress  Distribution  in  Multi-Stacked  Thin  Film  by  Curvature  Measurement  and  Iterative  FEA▼dHyeon  Chang  Choi,    Jun-Hyub  Park
■260    ▼a서울▼b대한기계학회▼c2005.
■300    ▼app.  1065-1071
■653    ▼aPREDICTION▼aRESIDUAL▼aSTRESS▼aDISTRIBUTION▼aMULTISTACKED▼aFILM▼aCURVATURE▼aMEASUREMENT▼aITERATIVE▼aFEA
■700    ▼aHyeon  Chang  Choi,    Jun-Hyub  Park
■773    ▼tJournal  of  Mechanical  Science  and  Technology▼gVol.  19  (No.  5)▼d2005,  05
■URL    ▼ahttp://www.ksme.or.kr
■SIS    ▼aS017620▼b60064619▼h8▼s2

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