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2단계 스퍼터링으로 형성시킨 강유전 박막의 누설전류 개선
2단계 스퍼터링으로 형성시킨 강유전 박막의 누설전류 개선
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12269360
- 서명/저자
- 2단계 스퍼터링으로 형성시킨 강유전 박막의 누설전류 개선 / 마재평, 신용인 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 17-22
- 기타저자
- 마재평, 신용인
- 기본자료저록
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2005 Vol. 13 No.1 ((38)) 2006, 03
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60075379
MARC
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