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아몰퍼스실리콘의 결정화에 따른 복합티타늄실리사이드의 물성변화
아몰퍼스실리콘의 결정화에 따른 복합티타늄실리사이드의 물성변화
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12269360
- 서명/저자
- 아몰퍼스실리콘의 결정화에 따른 복합티타늄실리사이드의 물성변화 / 송오성, 김상엽 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 1-6
- 기타저자
- 송오성, 김상엽
- 기본자료저록
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2005 Vol. 13 No.1 ((38)) 2006, 03
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60075377
MARC
008060508s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12269360
■245 ▼a아몰퍼스실리콘의 결정화에 따른 복합티타늄실리사이드의 물성변화▼d송오성, 김상엽 공저
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■700 ▼a송오성, 김상엽
■773 ▼t마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack▼g2005 Vol. 13 No.1 ((38))▼d2006, 03
■URL ▼ahttp://www.impask.or.kr
■SIS ▼aS023548▼b60075252▼h8▼s2
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