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Cu 금속배선을 위한 카본-질소-텅스텐 확산방지막 특성
Cu 금속배선을 위한 카본-질소-텅스텐 확산방지막 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12269360
- 서명/저자
- Cu 금속배선을 위한 카본-질소-텅스텐 확산방지막 특성 / 이창우 저
- 발행사항
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 345-350
- 기타저자
- 이창우
- 기본자료저록
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2005 Vol. 12 No.4 ((37)) 2005, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60075333
MARC
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