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UV 차단 금속막을 이용한 잔류층이 없는 UV 나노 임프란트 패턴 형성
UV 차단 금속막을 이용한 잔류층이 없는 UV 나노 임프란트 패턴 형성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12269360
- 서명/저자
- UV 차단 금속막을 이용한 잔류층이 없는 UV 나노 임프란트 패턴 형성 / 문강훈, 신수범, 박인성, 이헌, 차한선, 안진호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 275-280
- 기본자료저록
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2005 Vol. 12 No.4 ((37)) 2005, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60075321
MARC
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■URL ▼ahttp://www.imapsk.or.kr
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