서브메뉴
검색
SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프
SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12269360
- 서명/저자
- SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프 / 이문철, 강석진, 정규동, 좌성훈, 조용철 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 187-196
- 기본자료저록
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2005 Vol. 12 No.3 ((36)) 2005, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60075310
MARC
008060503s2005 ULKa a KOR■022 ▼a12269360
■245 ▼aSiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프▼d이문철, 강석진, 정규동, 좌성훈, 조용철 공저
■260 ▼a서울▼b한국마이크로전자및 패키징학회▼c2005.
■300 ▼app. 187-196
■653 ▼aSIOG▼a공정▼a이용▼a신뢰성▼aMEMS
■700 ▼a이문철, 강석진, 정규동, 좌성훈, 조용철
■773 ▼t마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack▼g2005 Vol. 12 No.3 ((36))▼d2005, 09
■URL ▼ahttp://www.imapsk.or.kr
■SIS ▼aS023546▼b60075252▼h8▼s2
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
Подробнее информация.
- Бронирование
- не существует
- моя папка
- Reference Materials for Thesis Writing
- Reference Materials for Research Ethics
- Job-Related Books
