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SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프
SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12269360
- 서명/저자
- SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프 / 이문철, 강석진, 정규동, 좌성훈, 조용철 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 187-196
- 기본자료저록
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2005 Vol. 12 No.3 ((36)) 2005, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60075310
MARC
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■URL ▼ahttp://www.imapsk.or.kr
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