MARC

 008060419s2005        ULKa    a                          ENG
■022    ▼a1738494X
■245    ▼aA  Study  on  the  Fabrication  of  Micro  Groove  on  Si  Wafer  using  Chemical  Mechanical  Machining▼dJunmin  Park,  Haedo  Jeong
■260    ▼a서울▼b대한기계학회▼c2005.
■300    ▼app.  2096-2104
■653    ▼aSTUDY▼aFABRICATION▼aMICRO▼aGROOVE▼aWAFER▼aUSING▼aCHEMICAL▼aMECHANICAL▼aMACHINING
■700    ▼aJunmin  Park,  Haedo  Jeong
■773    ▼tJournal  of  Mechanical  Science  and  Technology▼gVol.  19  (No.  11)special  edition▼d2005,  11
■URL    ▼ahttp://www.ksme.or.kr
■SIS    ▼aS017627▼b60064619▼h8▼s2

미리보기

내보내기

chatGPT토론

Ai 추천 관련 도서