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산성용액을 이용한 아연산화물 반도체의 습식 식각 특성
산성용액을 이용한 아연산화물 반도체의 습식 식각 특성
상세정보
MARC
008060217s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12250562
■245 ▼a산성용액을 이용한 아연산화물 반도체의 습식 식각 특성▼d오정훈, 이지면 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2006.
■300 ▼app. 63-67
■653 ▼a산성▼a이용▼a아연▼a산화물▼a반도체▼a습식▼a식각
■700 ▼a오정훈, 이지면
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 16, No. 1, (2006 January)▼d2006, 01
■URL ▼ahttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS018274▼b60055267▼h8▼s2


