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대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성
대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성 / 금민종, 김경환 공저
대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12267945
서명/저자  
대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성 / 금민종, 김경환 공저
발행사항  
서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
형태사항  
pp. 87-90
키워드  
대향 스퍼터링 이용 TOLED용 ITO 박막 산소 가스 의존성
기타저자  
금민종
기타저자  
김경환
기본자료저록  
전기전자재료학회논문지 : 제19권 제1호 (2006년 1월) 2006, 01
URL  
http://www.kieeme.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60071318

MARC

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