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대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성
대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Title/Author
- 대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성 / 금민종, 김경환 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- Material Info
- pp. 87-90
- Added Entry-Personal Name
- 금민종
- Added Entry-Personal Name
- 김경환
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지 : 제19권 제1호 (2006년 1월) 2006, 01
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60071318
MARC
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■URL ▼ahttp://www.kieeme.or.kr
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