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대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성
대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성 / 금민종, 김경환 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 87-90
- 기타저자
- 금민종
- 기타저자
- 김경환
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60071318
MARC
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■URL ▼ahttp://www.kieeme.or.kr
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