자료유형  

 기사

ISSN  

12255904

서명/저자  

수율향상을 위한 반도체 EDS공정에서의 불량유형 자동분류 / 한영신, 이칠기 공저

발행사항  

서울 : 한국시뮬레이션학회, 2005.

형태사항  

pp. 1-8

키워드  

수율 위한 반도체 EDS공정에서의 불량 유형 자동 분류

기타저자  

한영신, 이칠기

기본자료저록  

한국시뮬레이션학회논문지 : 제14권 제1호 (2005년 3월) 2005, 03

URL  

http://society.kordic.re.kr/~simul

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60070595