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나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프 제작과 패턴결함 개선에 관한 연구
나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프 제작과 패턴결함 개선에 관한 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Title/Author
- 나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프 제작과 패턴결함 개선에 관한 연구 / 박형석, 최우범, 성만영 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- Material Info
- pp. 130-138
- Added Entry-Personal Name
- 박형석
- Added Entry-Personal Name
- 최우범
- Added Entry-Personal Name
- 성만영
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지 : 제19권 제2호 (2006년 2월) 2006, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60068827
MARC
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