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나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프 제작과 패턴결함 개선에 관한 연구
나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프 제작과 패턴결함 개선에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프 제작과 패턴결함 개선에 관한 연구 / 박형석, 최우범, 성만영 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 130-138
- 기타저자
- 박형석
- 기타저자
- 최우범
- 기타저자
- 성만영
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60068827
MARC
008060209s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12267945
■245 ▼a나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프 제작과 패턴결함 개선에 관한 연구▼d박형석, 최우범, 성만영 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2006.
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■653 ▼a나노▼a리소▼a위한▼a스케일▼a다운▼a산화▼a스탬프▼a제작▼a패턴▼a결함▼a개선
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■7001 ▼a성만영
■773 ▼t전기전자재료학회논문지▼g제19권 제2호 (2006년 2월)▼d2006, 02
■SIS ▼aS018390▼b60055323▼h8▼s2
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