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분말 타겟을 이용하여 증착된 ITO 박막의 열처리 특성
분말 타겟을 이용하여 증착된 ITO 박막의 열처리 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 분말 타겟을 이용하여 증착된 ITO 박막의 열처리 특성 / 이재형 저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 109-115
- 기타저자
- 이재형
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60068824
MARC
008060209s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12267945
■245 ▼a분말 타겟을 이용하여 증착된 ITO 박막의 열처리 특성▼d이재형 저
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■653 ▼a분말▼a이용▼aITO▼a박막▼a열처리
■700 ▼a이재형
■773 ▼t전기전자재료학회논문지▼g제19권 제2호 (2006년 2월)▼d2006, 02
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