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HFCVD법을 이용한 다이아몬드 박막 제작에서의 Bias 효과 및 전계 방출 특성에 관한 연구
HFCVD법을 이용한 다이아몬드 박막 제작에서의 Bias 효과 및 전계 방출 특성에 관한 연구
Detailed Information
MARC
008051005s1999 ulk a kor■090 ▼a427.62▼b권39h
■1001 ▼a권민철
■24510▼aHFCVD법을 이용한 다이아몬드 박막 제작에서의 Bias 효과 및 전계 방출 특성에 관한 연구▼d권민철 저.
■260 ▼a부산▼b동아대학교 대학원▼c1999.
■300 ▼a141 p.▼b삽도▼c26 cm.
■5021 ▼a박사학위논문▼b동아대학교 대학원▼c물리학과▼d1999.
■504 ▼a권말 참고문헌, 영문초록 수록.
■653 ▼aHFCVD법을▼a이용▼a다이아몬드▼a박막▼a제작▼aBIAS▼a효과▼a방출▼a특성
■9501 ▼a비매품
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