자료유형  

 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

음의 기판 바이어스에 의한 탄탈 박막내의 주요불순물의 농도감소 / 임재원, Minoru Isshiki 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2005.

형태사항  

pp. 329

키워드  

음의 기판 바이어스 탄탈 박막 내의 주요 농도 감소

기타저자  

임재원, Minoru Isshiki

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.43 No.4 (2005년 4월) 2005, 04

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Control Number  

kjul:60050326