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이온 빔 스퍼터 에칭에 의한 Si (001) 기판의 표면구조 변화
이온 빔 스퍼터 에칭에 의한 Si (001) 기판의 표면구조 변화
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 02533847
- Title/Author
- 이온 빔 스퍼터 에칭에 의한 Si (001) 기판의 표면구조 변화 / 김형석, 서주형, 박찬경 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2005.
- Material Info
- pp. 68
- Added Entry-Personal Name
- 김형석, 서주형, 박찬경
- Host Item Entry
- 대한금속.재료학회지 : Vol.43 No.1 (2005년 1월) 2005, 01
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60050082
MARC
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