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 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

이온 빔 스퍼터 에칭에 의한 Si (001) 기판의 표면구조 변화 / 김형석, 서주형, 박찬경 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2005.

형태사항  

pp. 68

키워드  

이온 스퍼터 에칭 001 기판 표면 구조 변화

기타저자  

김형석, 서주형, 박찬경

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.43 No.1 (2005년 1월) 2005, 01

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Control Number  

kjul:60050082