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다층배선 비아 구조에 대한 응력과 Electromigration 해석
다층배선 비아 구조에 대한 응력과 Electromigration 해석
상세정보
MARC
008050810s2004 ULKa a KOR■022 ▼a02533847
■245 ▼a다층배선 비아 구조에 대한 응력과 Electromigration 해석▼d박영배, 전인수 공저
■260 ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2004.
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■653 ▼a다층▼a배선▼a비아▼a구조▼a대한▼a응력▼aELECTROMIGRATION
■700 ▼a박영배, 전인수
■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.42 No.7 (2004년 7월)▼d2004, 07
■SIS ▼aS010765▼b60013425▼h8▼s2


