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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

유무기 하이브리드 SiOC 박막의 화학적 이동에 대한 FTIR 스펙트라 분석 / 오데레사 저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2005.

형태사항  

pp. 17-22

키워드  

유무 하이브리드 SIOC 박막 화학적 이동 대한 FTIR 스펙트

기타저자  

오데레사

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제42권 제6호 (2005 6) 2005, 06

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Control Number  

kjul:60047543