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습식 에칭공정에서 노즐 형상에 따른 분무특성 분석을 통한 에칭 특성의 향상에 관한 연구
습식 에칭공정에서 노즐 형상에 따른 분무특성 분석을 통한 에칭 특성의 향상에 관한 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12264881
- Title/Author
- 습식 에칭공정에서 노즐 형상에 따른 분무특성 분석을 통한 에칭 특성의 향상에 관한 연구 / 정지원, 김덕줄 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한기계학회, 2004.
- Material Info
- pp. 842-849
- Added Entry-Personal Name
- 정지원, 김덕줄
- Host Item Entry
- 대한기계학회논문집B : 제28권 제7호 (통권 제226호)(2004년 7월) 2004, 07
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60047240
MARC
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