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 기사

ISSN  

12264881

서명/저자  

습식 에칭공정에서 노즐 형상에 따른 분무특성 분석을 통한 에칭 특성의 향상에 관한 연구 / 정지원, 김덕줄 공저

발행사항  

서울 : 대한기계학회, 2004.

형태사항  

pp. 842-849

키워드  

습식 에칭 노즐 형상 분무 특성 분석 통한 향상

기타저자  

정지원, 김덕줄

기본자료저록  

대한기계학회논문집B : 제28권 제7호 (통권 제226호)(2004년 7월) 2004, 07

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Control Number  

kjul:60047240