서브메뉴
검색
Buffered Oxide Etch 세정에 의한 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 개선
Buffered Oxide Etch 세정에 의한 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 개선
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- Buffered Oxide Etch 세정에 의한 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 개선 / 남영묵, 배성찬, 최시영 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 31
- 기타저자
- 남영묵, 배성찬, 최시영
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60047144
MARC
008050801s2004 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼aBuffered Oxide Etch 세정에 의한 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 개선▼d남영묵, 배성찬, 최시영 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2004.
■300 ▼app. 31
■653 ▼aBUFFERED▼aOXIDE▼aETCH▼a세정▼a다결정▼a실리콘▼aTFT의▼a전기
■700 ▼a남영묵, 배성찬, 최시영
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제41권 제8호 (2004 8)▼d2004, 08
■SIS ▼aS010821▼b60014354▼h8▼s2
