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Buffered Oxide Etch 세정에 의한 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 개선
Buffered Oxide Etch 세정에 의한 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 개선
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- Buffered Oxide Etch 세정에 의한 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 개선 / 남영묵, 배성찬, 최시영 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 31
- 기타저자
- 남영묵, 배성찬, 최시영
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60047144
MARC
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■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제41권 제8호 (2004 8)▼d2004, 08
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