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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

압저항 효과를 이용한 실리콘 압력센서 제작공정의 최적화 / 윤의중, 김좌연, 이석태 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2005.

형태사항  

pp. 19

키워드  

압저항 효과 이용 실리콘 압력 센서 제작 최적

기타저자  

윤의중, 김좌연, 이석태

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제42권 제1호 (2005 1) 2005, 01

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Control Number  

kjul:60047080